넥스틴은 반도체 전공정 웨이퍼 표면의 미세 결함을 찾아내는 광학 검사장비를 만들고 팝니다. 장비는 반사광을 쓰는 밝은시야(Bright-field) 검사와 산란광을 쓰는 어두운시야(Dark-field) 검사를 한 장비에서 선택할 수 있는 복합형 구조가 핵심입니다. 제품군은 AEGIS, IRIS-II, KROKY 같은 웨이퍼 검사장비입니다.
- 웨이퍼 표면 이미지를 촬영해 반복 패턴의 차이를 찾아 결함을 검출합니다.
- 밝은시야 검사와 어두운시야 검사를 한 장비에서 구현하는 복합 장비를 내세웁니다.
공시 근거
반도체 전(前)공정 패턴 결함 검사 장비는 웨이퍼 표면에 형성된 전기 회로의 이미지를 촬상하고 반복되는 동일한 이미지를 서로 비교하여 차이점을 찾아내는 장비입니다.
당사의 장비는 Bright-field 검사와 Dark-field 검사를 위한 광학 구성을 한 장비 내에서 구현하여 Bright-field 검사와 Dark-field 검사를 선택할 수 있는 복합 구성 장비(Combo-system)입니다.