디아이티는 자동광학검사(AOI, Automatic Optical Inspection) 장비, 레이저 솔루션, 비전 인공지능(AI) 솔루션을 만들어 팝니다. 반도체 웨이퍼 검사, 디스플레이 검사, 2차전지 외관·분리막·전극판 검사, 자동차 도장 외관검사처럼 제조 공정의 결함을 찾거나 수율을 높이는 장비가 핵심입니다.
- 자동광학검사는 빛과 카메라 센서로 결함 유무를 검사하는 머신비전 장비입니다.
- 레이저 솔루션은 디램·낸드플래시 웨이퍼 수율 개선과 실리콘카바이드 전력반도체 공정에 쓰입니다.
- 비전 인공지능 솔루션은 룰 기반 검사와 딥러닝을 결합해 결함 검사·분류를 자동화합니다.
공시 근거
당사의 주요제품으로는 AOI Solution, LASER Solution, VISION AI Solution으로 구분할 수 있으며 반도체 산업, 디스플레이(OLED) 산업, 2차전지 산업, 자동차 산업 등에 응용되어 사용되고 있습니다.
AOI(Automatic Optical Inspection) Solution이란, 대상체에 빛을 조사하여 투과 또는 반사되는 빛을 Lens를 통해 카메라의 Sensor에 전달시켜 해당 이미지의 광량차이를 이용, 결함유무를 검사하는 Machine Vision 기술입니다.
당사는 DRAM / NAND FLASH 웨이퍼의 수율을 향상시키는 Laser Annealing System을 개발하였으며, 양산장비를 고객사에 납품하고 있습니다.