유진테크는 반도체 웨이퍼 위에 산화막·절연막 같은 박막을 형성하는 전공정 증착장비를 만듭니다. 주력은 저압 화학기상증착(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 장비 BlueJay, 플라즈마 처리 장비 Albatross, 원자층증착(Atomic Layer Deposition) 장비 Harrier이며, 증착공정에 쓰이는 전구체 소재도 함께 팝니다.
- 핵심 사업은 반도체 전공정 증착장비입니다.
- 소재 쪽에서는 DRAM 캐패시터용 고유전율 물질 박막 증착에 필요한 전구체 판매에 집중합니다.
공시 근거
당사는 2000년에 설립된 반도체 장비 제조회사로 전공정의 웨이퍼 처리공정 중 박막형성재료를 화학반응에 의해 반도체기판(wafer)위에 박막을 형성하는 장비를 제공하고 있습니다.
Single Thermal LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) System인BlueJay™가 있습니다.
반도체 소재 부문에서는 국내 반도체 소자업체에 DRAM 캐패시터용 고유전율 물질 박막 증착에 필요한 전구체의 판매량 증진에 집중하고 있습니다.