에프에스티는 반도체와 디스플레이 제조 공정에 들어가는 재료와 장비를 팝니다. 핵심은 포토마스크를 이물질로부터 보호하는 펠리클과, 공정 중 챔버와 웨이퍼 주변 온도를 일정하게 유지하는 온도조절장비인 칠러입니다. 종속회사를 통해 펠리클 프레임, 세라믹 기판, 실리콘 카바이드 부품, 전극 페이스트도 함께 다룹니다.
- 펠리클은 노광 공정에서 포토마스크를 보호하는 소재성 부품입니다.
- 칠러는 반도체·디스플레이 공정의 온도 조건을 안정적으로 제어하는 장비입니다.
- 종속회사들은 펠리클 프레임, 다층세라믹기판, 실리콘 카바이드 부품, 도전성 전극 페이스트를 생산합니다.
공시 근거
반도체 제조시 노광(Photolithography) 공정에서 포토마스크 (Ph otomask)를 이물질로부터 보호하기 위해 사용되는 부품의 제조 및 판매를 주요 사업으로 영위하고 있습니다.
반도체, 디스플레이 공정에서 필요로 하는 챔버 내의 온도와 웨이퍼의 주변 온도를 일정하게 유지함으로써 공정효율을 개선하는 장비를 제조 및 판매 하고 있으며
당사는 반도체 및 디스플레이 공정에서 '포토마스크용 보호막인 펠리클(Pellicle)'과 공정 중 온도조건을 안정적으로 제어하는 '온도조절장비인 칠러(Chiller)'를 주력으로 생산하는 반도체 재료/장비 전문업체 입니다.