삼양엔씨켐은 반도체 제조 공정 중 노광 공정과 세정 공정에 쓰이는 정밀화학 소재를 만들어 팝니다. 주력은 포토레지스트(PR, Photoresist)용 고분자(Polymer)와 광산발산제(PAG, Photo Acid Generator), 그리고 식각 뒤 잔사를 제거하는 PERR(Post-Etch Residue Remover)용 중간체입니다.
- 노광 공정용 포토레지스트 핵심 소재인 고분자와 광산발산제를 개발·생산합니다.
- 세정 공정에서는 식각 이후 잔사 제거에 쓰이는 PERR용 중간체를 생산합니다.
공시 근거
당사는 반도체용 정밀화학 소재를 전문으로 생산하는 기업으로, 반도체 제조 공정 중 노광 공정 및 세정 공정에 사용되는 소재(Polymer, PAG, PERR 중간체 등)를 생산ㆍ판매하는 사업을 영위하고 있습니다.
포토레지스트(PR)는 용매, 고분자(Polymer), 광산발산제(PAG), 첨가제 등으로 구성되며, 당사는 노광 공정에서 사용되는 포토레지스트의 핵심 소재인 고분자(Polymer)와 광산발산제(PAG)를 개발ㆍ생산하고 있습니다.
당사는 식각(Etching) 공정 이후 발생하는 포토레지스트(PR) 잔사 및 부산물을 제거하는 PERR(Post-Etch Residue Remover)용 중간체를 생산하고 있습니다.