케이엔제이는 반도체 웨이퍼 식각공정에 들어가는 SiC Focus Ring 같은 CVD-SiC 소모품을 만들어 팝니다. CVD는 화학기상증착 방식이고, SiC는 실리콘에 탄소를 결합한 탄화규소 소재입니다. 디스플레이 장비 사업은 2024년 9월 말 중단해, 현재 설명의 중심은 반도체 공정부품입니다.
- 주력 제품은 반도체 웨이퍼 에칭공정용 SiC Focus Ring입니다.
- CVD-SiC는 기존 실리콘 소재 부품을 대체하는 고기능성 소재입니다.
- 디스플레이 제조용 Edge Grinder 및 검사장비 사업은 중단했습니다.
공시 근거
당사는 반도체 웨이퍼 에칭공정용 소모품인 SiC Focus Ring 및 LED제조용 SiC 코팅제품 및 등을 CVD(화학기상증착) 방식으로 생산 공급해 오고 있습니다.
CVD-SiC제품은 기존에 주로 사용되던 단결정 Si(실리콘, 규소)소재 기반의 반도체용부품을 대체하는 제품으로 Si 소재의 단점을 보완하기 위해 CVD 방식으로 Si에 탄소(C)를 결합시켜 생산하게 됩니다.
당사는 2024년 9월 23일 이사회결의를 통해 2024년 9월 30일자로 디스플레이제조용 Edge Grinder 및 검사장비 사업의 중단을 결정한 바 있습니다.